Materjaliuurimise KORDAMISKÜSIMUSED 2.KT
11. Kus kasutatakse SEM?
· Pinnadetailide kujutise suurendamine 10X kuni ~500 000 x.
· Lahutusvõime kuni 3-100 nm sõltuvalt objekti tihedusest ja elektrijuhtivusest.
· Peegeldunud elektronide reziimis söövitamata objekti terade piirjoonte uurimine,
doomenstruktuuri avastamine ferromagneetikutes, kristallograafilise orientatsiooni
hindamine 2 4m kuni 104m suurustel kristallidel, erineva aatominumbriga teise faasi
eraldamine söövitamata pinnal.
· Sobiv seade pooljuhttööstuses materjalikontrolliks.
12. Mida ei saa SEMs uurida?
SEM-s ei saa otseselt vett sisaldavaid objekte uurida, sest mikroskoobi sisemuses olevas
kõrgvaakumis aurustub vesi ning objekti struktuur moondub.
13. Mida nimetatakse elektronkahuriks?
SEM-i kolonni otsas olev seade ehk katood, mis saadab välja/tekitab elektronkiire. Katoodiks
on V kujuliselt painutatud 0,1 mm W traat. Volframtraadi kuumutamisel elektrivooluga
annaabi.ee 
