elektromagnetiliste kiirguste ja vabade elektronide tekkimine. Elektroni trajektoori on võimalik teoreetiliselt simuleerida kasutades Monte-Carlo meetodit ja kujutada seda graafiliselt: Incident beam primaarsete elektronide voog Backscattered tagasihajunud e. peegeldunud elektronid 2. Mis on peegeldunud elektronid? Need on primaarsed elektronid, mis peale elastset põrget aine aatomitega läbisid ergastusruumi ja jõudsid aine pinnale tagasi. · Nende väljatuleku sügavus ainest on tunduvalt suurem kuni 100 nm ja seega kannavad nad endas informatsiooni koostise, topograafia ja kristallstruktuuri kohta. · Peegeldunud elektronide arv sõltub hajutava aatomi numbrist mida raskemad aatomid, seda rohkem tekib peegeldunud elektrone. 3. Millises vahemikus on peegeldunud elektronide energia?
Kvantitatiivse informatsiooni saamisel tuleb kõigepealt selgitada, milline on analüüsitav ruumala. On selge, et see on ala, millest väljunud röntgenkvandid registreeriti loendis. See sõltub, kui sügavale tungib elektronkiir objekti ning kui tugevalt neelduvad röntgenkiired väljumisel ainest. Järelikult faktoreid, mis mõjutavad analüüsitava ala suurust on palju. Nendest tähtsamad on: - elektronkiire energia; - röntgenkvantide väljumise ruumala (ergastusruumi) keskmine tihedus; - röntgenkiirte lainepikkuses; - röntgenkiirte absorbtsioonikoefitsient; - elektronkiirte langemisnurk objektile.; - jne. Teine raskesti määratav asjaolu on see, et kuigi elektronkiir tungib objekti teatud sügavusse, ei ole väljuvate röntgenvantide jaotus sugugi ühtlane. Tõenäoliselt tuleb pinnakihi lähedalt rohkem kvante kui objekti sügavusest, kus nad osaliselt neelduvad oma teel välja. Analüüsi
annaabi.ee 
