"ellipsomeetria" - 1 õppematerjal

Optilised omadused ja optilised materjalid

RAKENDUSED. 5.1 Rakendus: ellipsomeetriline murdumisnäitaja mõõtmine Fresneli valemid dielekriku piirpinnalt peegeldunud valguse intensiivuse arvutamiseks: sin 2 ( - ) tan 2 ( - ) = sin 2 (1 +2 ), = tan 2 (1 +2 ), kus ja on intensiivsused vastavalt langemistasandiga risti 1 2 1 2 ja lagnemistasandiga paralleelselt lineaarselt polariseeritudpealelangeva valguse jaoks. 5.2 Rakendus: ellipsomeetriline murdumisnäitaja mõõtmine Ellipsomeetria on optiline meetod materjalide ja õhukeste kilede iseloomustamiseks lähtudes objektilt peegeldunud (või seda läbinud) valguse erinevalt polariseeritud komponentide elektrivälja amplituudide ja faaside omavahelistest erinevustest. Kui polariseerimata valgus läbib polariseeriva elemendi, ei sõltu tema amplituud polarisaatori orientatsioonist, kuna pealelangevas valguses on kõik välja orientatsioonid võrdselt esindatud