Materjaliuurimise KORDAMISKÜSIMUSED 2.KT
Sekundaarelektrone tuleb
tõmmata detektorile positiivse laenguga, mis antakse selle ees asetsevale võrele.
Sekundaarelektronide energia on väike, arv on suur. Signaal koosneb sekundaarelektronidest
ja peegeldunud elektronidest.
11. Kus kasutatakse SEM?
· Pinnadetailide kujutise suurendamine 10X kuni ~500 000 x.
· Lahutusvõime kuni 3-100 nm sõltuvalt objekti tihedusest ja elektrijuhtivusest.
· Peegeldunud elektronide reziimis söövitamata objekti terade piirjoonte uurimine,
doomenstruktuuri avastamine ferromagneetikutes, kristallograafilise orientatsiooni
hindamine 2 4m kuni 104m suurustel kristallidel, erineva aatominumbriga teise faasi
eraldamine söövitamata pinnal.
· Sobiv seade pooljuhttööstuses materjalikontrolliks.
12. Mida ei saa SEMs uurida?
SEM-s ei saa otseselt vett sisaldavaid objekte uurida, sest mikroskoobi sisemuses olevas
kõrgvaakumis aurustub vesi ning objekti struktuur moondub.
13. Mida nimetatakse elektronkahuriks?
annaabi.ee 
