Elektroonika II KT
Pooljuhtintegraallülitus on
integraallülitus, mille elemendid
on teostatud pooljuhtmaterjalis või selle pinnal. Integraallülituste valmistamisel rakendatakse
planaarmenetlust,
mispuhul lülituse struktuur moodustatakse räniplaadi õhukeses, mõne m paksuses pindkihis
ja pinnal.
Planaarmenetlusel valmistatud integraallülitust nimetatakse monoliitintegraallülitusteks.
Selliste integraallülituste juures pole võimalik optimeerida ühe skeemielemendi parameetreid,
muutmata sama ajal teiste elementide karakteristikuid. Valmistatakse ka
hübriidintegraallülitusi. Hübriidintegraallülituses kasutatakse kiledest passiivelemente
ja eraldi pooljuhtkristallis valmistatud
aktiivelemente. Selline tehnoloogia
võimaldab saada täpsemaid