Kuna materjali omadusi hinnatakse struktuuri järgi, siis on pinna töötlemise kvaliteet väga oluline. Lihvpabereid jaotatakse mitmesuguste skaalade järgi,mille aluseks on abrasiivtera suurus. (ASTM ja FEPA tabelid). 7) Poleerimine kujutab endast kaheastmelist etappi kõigepealt jämepoleerimine ja siis peenpoleerimine. Jämepoleerimisel immutatakse lihvkettale kinnitatud riidematerjal umbes 1m suuruse teraga teemantpastaga või Al2O3 vesiemulsiooniga. Poleerimisriie on tavaliselt sile, ilma karvadeta, et võimaldada poleerpastal paremat ligipääsu pinnale. Peenpoleerimist tehakse sarnaselt, kuid veel peenemate abrasiividega (kuni 0,05 m) karvasel riidel. Tavaliselt tehakse poleerimist automaatselt, kuid seda võib teha ka käsitsi. Vibratsioon- ja elektropoleerimise tehnikad kuuluvad peenpoleerimise juurde. Poleerimise tulemuseks peab olema täielikult kriimustustevaba pind, et sellel saaks uurida materjali struktuuri peensusi.