Füüsikalised materjalitehnoloogiad eksami küsimuste vastused 2015
kuivsöövitus - kasutatakse plasmat. materjali eemaldamine toimub ioonide keemilisel või
füüsikalisel vastasmõjul materjaliga. kuivsöövitust saab kasutada kõikide materjalide korral,
ka nt plaatina korral, mille eraldamine märgsöövitusega on raske.
kuivsöövitusel on erinevad söövitustehnikad:
füüsikaline tolmutus: pmst liivapritspuhastus aatomskaalas, liiva aseme kasutatakse
keemiliselt intertseid ioone, toimub vaakumis kahe elektroodi vahel
ioonkimp-söövitus: kasutatakse ioonkahurit, kallim kui tolmutuse meetod
keemiline plasmasöövitus: kasutatakse reaktiivseid gaase, mis moodustavad materjaliga
keemiliselt reageerivaid radikaale
kombineeritud kuivsöövitus: kombineeritakse eelnimetatud protsesse
46. Kirjeldage mikrostruktuuride valmistamise lift-off
(eraldamise) tehnikat.
https://en.wikipedia.org/wiki/Lift-off_%28microtechnology
%29
Lift-off tehnoloogia abil saab luua aluspinnale vajalikust
annaabi.ee 
