Füüsikalised materjalitehnoloogiad eksami küsimuste vastused 2015
oleks. Seejärel lift-off protsessis lahustatakse selektiivselt resist ning koos sellega eraldub ka
metallkile resisti pinnal. järgi jääb vaid aluse pinnale kantud materjal.
47. Andke ülevaade mikrostruktuuride valmistamisest litograafia abil.
Litograafia on kujutise kandmine alusmaterjalile, millega see valmistatakse ette
järgnevaks söövitusprotsessiks. Selleks:
A. kaetakse alus fototundliku (fotoresisti) õhukese kilega;
B. aluse ja kiirgusallika (ultravioletse valgusallika, röntgenkiire, elektronkiire,
ioonkiire) vahele pannakse fotomask;
C. Fotoresisti kiiritatakse kindla ekspositsiooniga ning seejärel
eemaldataksekiiritatud fotoresisti alad ilmutilahuses (positiivprotsessi korral).
48. Millistes valdkondades kasutatakse lasertehnoloogiaid? Kirjeldage neid
tehnoloogiad. Millised on nende tehnoloogiate põhilised eelised?
Valdkond - kirjeldus - eelised