Optilised omadused ja optilised materjalid
5.2 Rakendus: ellipsomeetriline murdumisnäitaja mõõtmine
Ellipsomeetria on optiline meetod materjalide ja õhukeste kilede iseloomustamiseks
lähtudes objektilt peegeldunud (või seda läbinud) valguse erinevalt polariseeritud
komponentide elektrivälja amplituudide ja faaside omavahelistest erinevustest. Kui
polariseerimata valgus läbib polariseeriva elemendi, ei sõltu tema amplituud polarisaatori
orientatsioonist, kuna pealelangevas valguses on kõik välja orientatsioonid võrdselt
esindatud. Peale peegeldust mingilt pinnalt ja peale polarisaatori läbimist sõltub signaal selle
orientatsioonist, see tähendab, et valgus on vähemalt osaliselt polariseeritud. Valguse
amplituud esitatuna sõltuvusena polarisaatori nurgast võtab ellipsi kuju, siit ka nimetus
,,ellipsomeetria". Ellipsomeetria suudab iseloomustada läbipaistvaid või neelavaid materjale
annaabi.ee 
